12.08.2011
Свидетельство о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы №2011630081
Интегральный преобразователь давления ИПД5.2М - 0,0010 - 0,0016 - 0,0025 - 0,0040 - 0,0063 мембранного типа с 5-ю жесткими центрами
Авторы: Михайлов Юрий Александрович, Гаврилов Роман Олегович, Панков Владимир Валентинович, Данилова Наталья Леонтьевна, Суханов Владимир Сергеевич.