Тензорезистивные преобразователи давления на основе сложнопрофилированных кремниевых мембран

24.06.2013

Нано- и микросистемная техника. 2013. № 4. С. 32-36
Авторы: Землянников Н.С.,Данилова Н.Л.,Панков В.В.,Суханов В.С.,Михайлов Ю.А.