Интегрированная наноэлектромеханическая система параметров движения

Интегрированная наноэлектромеханическая система параметров движения


16.12.2012

Нано- и микросистемная техника. 2012. № 2. С. 46-48.
Авторы: Амеличев В. В.,Аравин В. В.,Благов Е. В.,Гаврилов Р. О.