Оптимизация условий формирования тонких пленок ZnO для использования в интегральных МЭМС-устройствах

17.09.2011

Нано- и микросистемная техника, 2011. № 12. С.27-30
Авторы: Громов Д.Г.,Козьмин А.М.,Поломошнов С.А.,Шулятьев А.С.,Шаманаев С.В.