Тензорезистивный кремниевый МЭМС-преобразователь давления мембранного типа

17.09.2011

Нано- и микросистемная техника, 2011. № 12. С.36-37
Авторы: Годовицын И.В.,Данилова Н.Л.,Землянников Н.С.,Панков В.В.,Суханов В.С.