Исследование процесса глубокого анизотропного плазменного травления кремния в парогазовой смеси с пониженной полимеризационной способностью.

17.09.2011

Известия высших учебных заведений. Электроника. 2011. № 89. С. 14-19.
Авторы: Голишников А.А.,Костюков Д.А., Путря М.Г.