Анализатор микросистем MSA-500
Фирма-изготовитель
Polyteс
Страна
Германия
Год выпуска
2011
Назначение оборудования
|
Боковые измерения вибрации | |
|
Измеряемая величина |
мгновенная скорость и виброперемещение |
|
Источник света |
светодиод с большим ресурсом, длина волны 525 нм, длина когерентности ~8 мкм; |
|
Частотный диапазон вибрации |
0 - 24 МГц |
|
Разрешение по перемещению, не хуже |
<0.1 пм/√Гц |
|
Макс. виброскорость (пик), не менее |
±10 м/с |
|
Разрешение по скорости, не хуже |
<1 мкм/с |
|
Измерения вибрации в плоскости объекта | |
|
Частотный диапазон вибрации |
1 Гц - 1 МГц |
|
Разрешение по смещению, не хуже |
1нм |
|
Разрешение по времени, не хуже |
100 нс |
|
Макс. виброскорость (пик) |
> 0,1 - 10 м/с (в зависимости от увеличения) |
|
Измерение топографии | |
|
Разрешение, не хуже |
35-350 пм в зависимости от типа поверхности |
|
Повторяемость, не хуже |
0,07 % |
|
Точность, не хуже |
0,35 % |
|
Динамический диапазон по вертикали, не менее |
250 мкм |
- интерфейсный модуль для соединения сканирующей головки с системой управления;
- виброизолированная платформа на пьезокомпенсаторах;
- система сбора данных и ПО для обработки полученных данных вибрации и топографии;
- виброизолированный стенд для установки микроанализатора;
- возможность делать дифференциальные измерения (дифференциальный лазерный интерферометр с оптоволоконным кабелем);
- встроенный одноканальный генератор сигналов;
- системный кабинет;
- цифровой демодулятор сигнала скорости;
- цифровой декодер перемещений;
- объективы (измерение динамики): 2; 5; 10; 20; 50;
- интерференционные объективы с увеличением: 2,5; 4; 10; 20; 50;
- возможность сканирования с частотным разрешением до 204,800 спектральных линий;
- возможность записи временных и частотных спектров;
- поддержка съемки видео объекта измерения;
- возможность загрузки геометрии образца для определения точек сканирования;
- возможность измерения геометрии образца;
- возможность использования обработки полученных данных на внешнем компьютере;
