Измеритель магнитных характеритик тонкопленочных материалов MESA-200



Измеритель магнитных характеритик тонкопленочных материалов MESA-200

Фирма-изготовитель

 

shb instruments, inc

 

Страна

 

США

 

Год выпуска

 

2012

 

Назначение оборудования

 

Измерение магнитных характеристик магниторезистивных структур и магнитострикционных материалов

 

Технические характеристики MESA-200

 

Диаметр подложки

2 … 200 мм

Максимальное намагничивающее поле

1000 Э по нормальной оси; 100 Э по поперечной оси

Диапазон поля индуктивности

0,01 … 10000 нВб/дел

Воспроизводимость

<0,25%, <0,5% для пленок с толщиной менее 20 Å

Точность

Не хуже 1% (возможность калибровки согласно требованиям пользователя)

Разрешение

0,008% от полной шкалы

Диапазон развертки по частоте

1 … 10 Гц

Возбуждающие усилители

Высоконадежные усилители, формирующие прецизионное синусоидальное поле

Компьютерная система

Системный блок с ЖК-монитором и цветным струйным принтером

Программное обеспечение

Microsoft Windows XP; программное обеспечение для управления и программирования Shb Instruments shbWin; программное обеспечение для работы с контрольными базами данных Shb AutoTest; программа дистанционного управления и диагностики; возможность поддержки GEM/SECS

Габариты (В х Ш х Г)

127 x 122 x 84 см

Диаметр приводной катушки

15 дюймов – диаметр соленоида нормальной оси, 18 дюймов – поперечная ось

Питание

115/220В, 20 А, 50/60 Гц

 

Функциональные возможности установки MESA-200

 

  • Измерения в режиме реального времени (10 петель за секунду);
  • Не требуется резка пластин;
  • Высочайшая чувствительность при измерениях на образцах весьма малых размеров;
  • Непревзойденные характеристики точности и воспроизводимости;
  • Усовершенствованная цифровая обработка сигналов;
  • Опции автоматической загрузки и автоповорота;
  • Широчайший спектр габаритов и толщин образцов;
  • Измерение магнитного сопротивления (MR/GMR);
  • Магнитострикция;
  • Измерения:
  • Br, Bs, R, ØR, Hc, He, Hk, магнитострикция, дисперсия, смещение;
  • Низкочастотные синусоидальные развертки (1 … 10 Гц);
  • Напряженность поля до 1000 эрстед
  • Диапазон вертикальной чувствительности 0.01 … 10,000 нВб/дел;
  • Цифровая фильтрация фонового шума для подавления влияния внешних полей;
  • Подавление влияния магнитного поля земли;
  • Двухосные приводные катушки;
  • R- ØR- зондирование без перемещения пластины;
  • Электронные настраиваемые зонды с дополнительным R/ΔR-топографированием пластины;
  • Всестороннее исследование сигналов с использование курсора;
  • Режим автоматического выполнения измерений и удобный интерфейс для решения исследовательских задач и контроля качества в промышленности.